处理过程是用ArF激光器照射处在某气态物质氛围中的PTFE，使该物质与PTFE表面发生基团反应。可根据PTFE材料的不同用途，选择不同的反应物质进行改性。例如，选择[B(CH3)3]3做反应物质，则该性后的表面是亲油性的，而选择NH3、B2H6、N2H4（肼）或H2O2等做反应物质，则该性后的表面是亲水性的。用芳香族化合物对PTFE改性，可以大大提高粘接强度。此法的优点是简便、安全，还可以根据实际需要对PTFE表面进行有选择的改性，避免了化学处理法的盲目性，这在实际应用中是非常有利的。此外，改性后的PTFE表面耐久性要比辐射法、用N2的等离子体法好得多。人们已经成功地利用此法在处理过的PTFE表面镀上金属镍。这一研究以日本都市大学Murhara教授领导的研究小组最有代表性。